Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL

Appel d'offres

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

2025-02-12

Une attribution a été publiée.
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors. Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Formation maintenance niveau 1 (page 36 du cahier des charges) - Formation maintenance avancée ((page 36 du cahier des charges) Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques (page 13 du cahier des charges) - une station de refroidissement (page 13 du cahier des charges) - une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (page 14 du cahier des charges) - une station d’alignement du notch (page 14 du cahier des charges) - un load port additionnel (page 14 du cahier des charges) - échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (page 16 du cahier des charges) - transformateur électrique (page 24 du cahier des charges) - deuxième année de garantie ((page 36 du cahier des charges)

Informations générales

Dates importantes

  • Date de clôture : 13/03/2025 11:00 (cloturé)

Autres informations

  • Départements de publication :
  • Identifiant interne : B24-06195-TZ

Lots

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD.

LOT-0001
Fournitures
Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors.
Identifiant interneB24-06195-TZ
Durée prévue1 an
Informations complémentaires de l'avis
La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé B24-06195-TZ, qui est téléchargeable via le lien https://www.marches­publics.gouv.fr comme détaillé ci­-dessous. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches­publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches­publics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : B24­-06195-TZ Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches­publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches­publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui­ ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : ­ en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : ­ en qualité de membre de plusieurs groupements

Acheteurs

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

SIREN: 775685019

Adresse17 avenue des Martyrs, 38000, Grenoble
Site Webwww.cea.fr

Documents

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