Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors. Les options suivantes sont levées dès la notification du marché : o Option 1 : une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques o Option 2 : une station de refroidissement o Option 3 : une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (inclus dans l’équipement de base) o Option 4 : une station d’alignement du ‘notch’ (inclus dans l’équipement de base) o Option 5 : un load port additionnel (inclus dans l’équipement de base) o Option 8 : Deuxième année de garantie o Option 9 : Formation maintenance de niveau 1 o Option 10 : Formation maintenance niveau avancée