Equipement de dépôt LPCVD
Appel d'offres
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
2025-06-16
FournituresLaboratoire (fourniture)
Une attribution a été publiée.
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical.
Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
Il comprends les options à réponses facultatives suivantes :
Option 1 : Process 8 Amorphous silicon doped with carbon @525°C (§2 du CdC)
Option 2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs (§3.2.6 du CdC)
Option 3 : Transformateur (§4.1.4 du CdC)
Option 4 : Formation Maintenance 1er niveau (§9 du CdC)
Option 5 : Formation Maintenance Avancée (§9 du CdC)
Option 6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du CdC)
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712100 - Machines et appareils microélectroniques
Dates importantes
- Date de clôture : 15/07/2025 10:00 (cloturé)
Autres informations
- Départements de publication :
- Identifiant interne : B25-01489-TZ
Lots
Equipement de dépôt LPCVD
LOT-0001Fournitures
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical.
Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
Il comprends les options à réponses facultatives suivantes :
Option 1 : Process 8 Amorphous silicon doped with carbon @525°C (§2 du CdC)
Option 2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs (§3.2.6 du CdC)
Option 3 : Transformateur (§4.1.4 du CdC)
Option 4 : Formation Maintenance 1er niveau (§9 du CdC)
Option 5 : Formation Maintenance Avancée (§9 du CdC)
Option 6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du CdC)
Identifiant interneB25-01489-TZ
Durée prévue1 an
Informations complémentaires de l'avis
La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature
est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé B24-06195-TZ, qui est téléchargeable via le lien https://www.marchespublics.gouv.fr comme détaillé ci-dessous.
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de
produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités
financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la
présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les
documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr . Modalités d’obtention du
Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger
via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL
suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la
référence suivante : B25-01489-TZ Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront
transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur
l’URL suivante : https://www.marchespublics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur
le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications
indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter
à l’adresse suivante https://www.marchespublics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que
devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement
momentané d’entreprises, celui ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit
être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : en qualité de candidat individuel et de
membre d’un ou plusieurs groupements : en qualité de membre de plusieurs groupements
Acheteurs
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
SIREN: 775685019
Adresse17 avenue des Martyrs, 38000, Grenoble
Site Webwww.cea.fr
Documents
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