Equipement de dépôt LPCVD

Appel d'offres

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

2025-06-16

Une attribution a été publiée.
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore). Il comprends les options à réponses facultatives suivantes : Option 1 : Process 8 Amorphous silicon doped with carbon @525°C (§2 du CdC) Option 2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs (§3.2.6 du CdC) Option 3 : Transformateur (§4.1.4 du CdC) Option 4 : Formation Maintenance 1er niveau (§9 du CdC) Option 5 : Formation Maintenance Avancée (§9 du CdC) Option 6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du CdC)

Informations générales

Dates importantes

  • Date de clôture : 15/07/2025 10:00 (cloturé)

Autres informations

  • Départements de publication :
  • Identifiant interne : B25-01489-TZ

Lots

Equipement de dépôt LPCVD

LOT-0001
Fournitures
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore). Il comprends les options à réponses facultatives suivantes : Option 1 : Process 8 Amorphous silicon doped with carbon @525°C (§2 du CdC) Option 2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs (§3.2.6 du CdC) Option 3 : Transformateur (§4.1.4 du CdC) Option 4 : Formation Maintenance 1er niveau (§9 du CdC) Option 5 : Formation Maintenance Avancée (§9 du CdC) Option 6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du CdC)
Identifiant interneB25-01489-TZ
Durée prévue1 an
Informations complémentaires de l'avis
La liste des documents et informations à fournir pour le dossier de candidature est indiquée au paragraphe 4.1 du règlement de consultation joint au Dossier de Consultation référencé B24-06195-TZ, qui est téléchargeable via le lien https://www.marches­publics.gouv.fr comme détaillé ci­-dessous. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches­publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches­publics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : B25-01489-TZ Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches­publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches­publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui­ ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : ­ en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : ­ en qualité de membre de plusieurs groupements

Acheteurs

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

SIREN: 775685019

Adresse17 avenue des Martyrs, 38000, Grenoble
Site Webwww.cea.fr

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