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Equipement de dépôt LPCVD

Avis d'attribution

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

2026-05-22

FournituresEquipements spécialisés1 € (attribué)
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).

Informations générales

Autres informations

Localisation :
38000 Grenoble
  • Départements de publication : Isère (38)
  • Identifiant interne : B25-01489-TZ
Voir l'historique (2 avis)

Lots

Equipement de dépôt LPCVD

LOT-0001
Fournitures
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
Identifiant interneB25-01489-TZ
Durée prévue1 an
Résultats
Montant de l'attribution
1 €attribué à TOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED
Offres reçues2

Acheteurs

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

ORG-0001

SIREN: 775685019

Adresse17 avenue des Martyrs, 38000, Grenoble
Site Webwww.cea.fr

Fournisseurs

TOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED

ORG-0003

Identifiant: 2923252

AdressePioneer, Crawley Business Quarter, Fleming Way, West Sussex, RH10 9QL, Crawley
Lots attribués
LOT-00011 €

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