202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Appel d'offres
CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
2025-02-14
Une attribution a été publiée.
L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
Informations générales
- Procédure : Appel d'offres ouvert
- Classification CPV : 22520000 - Matériel de gravure sèche
Dates importantes
- Date de clôture : 18/03/2025 13:00 (cloturé)
Autres informations
Localisation :
IEMN, Avenue Poincaré, Cité Scientifique, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex
- Départements de publication : Nord (59)
- Identifiant interne : 202501100951
Informations complémentaires de l'avis
Marché à tranches. Des PSE facultatives sont demandées.
Lots
Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
LOT-0001Fournitures
L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
Identifiant interne202501100951
Durée prévue2 ans
Montant750 k€
Localisation
IEMN, Avenue Poincaré, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex
Adapté aux PME
Informations complémentaires de l'avis
Afin de prendre connaissance des contraintes relatives à l'exécution des prestations, les candidats peuvent visiter le site. Voir modalités de visite dans le RC.
Acheteurs
CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
SIRET: 18008901303894
Adresse43 avenue le Corbusier, 59001, Lille Cedex
Site Webwww.cnrs.fr
Documents
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