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202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés

Avis d'attribution

CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France

2025-04-28

L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).

Informations générales

Autres informations

Localisation :
IEMN, Avenue Poincaré, Cité Scientifique, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex
  • Départements de publication : Nord (59)
  • Identifiant interne : 202501100951
Voir l'historique (2 avis)

Informations complémentaires de l'avis

Marché à tranches. Des PSE facultatives sont demandées.

Lots

Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés

LOT-0001
Fournitures
L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
Identifiant interne202501100951
Durée prévue2 ans
Montant (estimation acheteur)750 k€
Localisation
IEMN, Avenue Poincaré, 59652 Villeneuve d'Ascq Cedex
Informations complémentaires de l'avis
Afin de prendre connaissance des contraintes relatives à l'exécution des prestations, les candidats peuvent visiter le site. Voir modalités de visite dans le RC.
Résultats
Montant de l'attribution
593 k€attribué à PTS - PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS
Offres reçues2

Acheteurs

CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France

ORG-0001

SIRET: 18008901303894

Adresse43 avenue le Corbusier, 59001, Lille Cedex
Site Webwww.cnrs.fr

Fournisseurs

PTS - PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS

ORG-0003

SIRET: 39491752000048

Adresse23 rue Paul Héroult, 38190, VILLARD BONNOT
Lots attribués
LOT-0001593 k€

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