Equipement d'inspection optique automatique 300mm
Appel d'offres
CEA GRENOBLE
2026-10-20
FournituresLaboratoire (matériel)
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant, capable de détecter des défauts d’une taille minimale de 300nm pour de l’inspection microscopique, et des tailles de défauts supérieurs à 10µm pour de l’inspection macroscopique. L’équipement devra être équipé de plusieurs lentille optique et pourra traiter des plaques 200mm et 300mm d’épaisseur variable. Il devra pouvoir traiter des fichiers au format spécifique KLARF et permettre de la revue et de la classification de défaut.
Le marché comporte :
- L'équipement de base,
- Des options à chiffrage facultatif :
Option 1 : Configuration hardware capable de traiter des plaques transparentes
Option 2 : Transformateur électrique
Option 3 : Formation maintenance de niveau 1
Option 4 : Formation Maintenance de niveau avancé
Option 5 : Extension de garantie (1 année supplémentaire)
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712000 - Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
Dates importantes
- Date de clôture : 06/11/2026 11:00 (14 jours 5 heures restants)
Autres informations
Localisation :
38000 Grenoble
- Départements de publication : Isère (38)
- Identifiant interne : B26-03325-LR
Lots
Equipement d'inspection optique automatique 300mm
LOT-0001Fournitures
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant, capable de détecter des défauts d’une taille minimale de 300nm pour de l’inspection microscopique, et des tailles de défauts supérieurs à 10µm pour de l’inspection macroscopique. L’équipement devra être équipé de plusieurs lentille optique et pourra traiter des plaques 200mm et 300mm d’épaisseur variable. Il devra pouvoir traiter des fichiers au format spécifique KLARF et permettre de la revue et de la classification de défaut.
Le marché comporte :
- L'équipement de base,
- Des options à chiffrage facultatif :
Option 1 : Configuration hardware capable de traiter des plaques transparentes
Option 2 : Transformateur électrique
Option 3 : Formation maintenance de niveau 1
Option 4 : Formation Maintenance de niveau avancé
Option 5 : Extension de garantie (1 année supplémentaire)
Identifiant interneB26-03325-LR
Durée prévue1 an
Localisation
grenoble
Informations complémentaires de l'avis
Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables
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