Acquisition d'un équipement de gravure plasma pour matériaux isolants et piézoélectriques

Dans le cadre de la présente consultation, FEMTO-ST fournira aux soumissionnaires des échantillons destinés à permettre la réalisation des essais nécessaires à l’appréciation des caractéristiques techniques de l’équipement proposé. Les essais porteront notamment sur : • la gravure d’un wafer de quartz coupe AT 36°, sur une profondeur de 100 µm, avec réalisation de motifs microniques à l’aide d’un masque de gravure en Nickel électrolytique ; • la gravure d’un wafer de niobate de lithium Black Y-128°, sur une profondeur de 600 nm, avec réalisation de motifs microniques. Deux wafers de chaque type seront fournis aux soumissionnaires. À l’issue des essais, les soumissionnaires devront restituer au Bénéficiaire les échantillons ayant fait l’objet des essais, accompagnés d’un rapport d’expériences présentant les résultats obtenus et permettant d’apprécier les caractéristiques techniques de l’équipement proposé au regard des spécifications techniques du présent marché. Les soumissionnaires sont tenus de prendre toutes les dispositions nécessaires afin que les échantillons gravés soient effectivement réceptionnés par le Bénéficiaire au plus tard à la date et à l’heure correspondant à la date limite de remise des offres (DLRO) fixée dans les documents de la consultation. La remise des échantillons constitue une condition de recevabilité de l’offre. En conséquence, toute offre pour laquelle les échantillons n’auront pas été réceptionnés par le Bénéficiaire dans le délai précité, ou pour laquelle les essais demandés n’auront pas été réalisés conformément aux exigences du présent document, sera considérée comme irrégulière et pourra être écartée dans les conditions prévues par la réglementation applicable aux marchés publics. Le rapport d’expériences devra être joint à l’offre et présenter, a minima, les conditions de réalisation des essais, les paramètres utilisés, les résultats obtenus ainsi que tout élément permettant au Bénéficiaire de vérifier la conformité des performances annoncées avec les spécifications techniques demandées. Le soumissionnaire demeure responsable de l’acheminement des échantillons jusqu’à leur réception effective par le Bénéficiaire dans le délai imparti. Il lui appartient notamment d’anticiper les délais d’acheminement et de livraison afin de garantir leur réception avant la DLRO. Voir RC