Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température
Appel d'offres
CEA Grenoble
2026-07-01
FournituresEquipements spécialisés
Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement dédié au remplissage métallique de vias à basse température, pour des applications mémoire, pour sa salle-blanche.
L’équipement sera capable d’utiliser des wafers de 300mm et est prévu pour la déposition de film fin de tungstène à haute conformité dans des via avec un facteur de forme élevé.
Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif :
- Option avec chiffrage obligatoire :
. Option 3 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance niveau 1
- Options avec chiffrage facultative :
. Option 1 (fourniture optionnelle) : Échangeurs de chaleurs / refroidisseurs
. Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur d’alimentation électrique
. Option 4 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance avancée
. Option 5 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712100 - Machines et appareils microélectroniques
Dates importantes
- Date de clôture : 31/07/2026 12:00 (cloturé)
Autres informations
Localisation :
Grenoble
- Départements de publication :
- Identifiant interne : B26-02145-CMF
Informations complémentaires de l'avis
Le candidat fournira notamment à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat - la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.2143-3 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr.
Il est interdit de cumuler les candidatures : - en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; - en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Les autres documents et informations à fournir au titre du dossier de candidature sont précisés dans le dossier de consultation (cf. article 4.1 du règlement de consultation).
Lots
Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température
LOT-0001Fournitures
Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement dédié au remplissage métallique de vias à basse température, pour des applications mémoire, pour sa salle-blanche.
L’équipement sera capable d’utiliser des wafers de 300mm et est prévu pour la déposition de film fin de tungstène à haute conformité dans des via avec un facteur de forme élevé.
Le marché envisagé comprend une option à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif :
- Option avec chiffrage obligatoire :
. Option 3 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance niveau 1.
- Options avec chiffrage facultatif :
. Option 1 (fourniture optionnelle) : Échangeurs de chaleurs / refroidisseurs.
. Option 2 (fourniture optionnelle) : Transformateur d’alimentation électrique.
. Option 4 (prestation optionnelle) : Formation à la maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges.
. Option 5 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an.
Identifiant interneB26-02145-CMF
Durée prévue1 an
Informations complémentaires de l'avis
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
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