Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm
Appel d'offres
CEA/GRENOBLE
2026-05-29
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple.
Le marché envisagé comprend :
- une tranche ferme correspondant à l’équipement de base,
- une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD).
Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes :
o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau
o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée
o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique
o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs
o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire
o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31700000 - Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques
Dates importantes
- Date de clôture : 01/07/2026 12:00 (cloturé)
Autres informations
Localisation :
Grenoble
- Départements de publication : Isère (38)
- Identifiant interne : PN-B26-00364-ST
Informations complémentaires de l'avis
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr .
Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : PN-B26-00364-ST
Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr.
Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique»
2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr
3.Compléter le formulaire et valider.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements
Lots
Fourniture d’un équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD
LOT-0001Fournitures
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple.
Le marché envisagé comprend :
- une tranche ferme correspondant à l’équipement de base,
- une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD).
Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes :
o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau
o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée
o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique
o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs
o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire
o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Durée prévue1 an
Localisation
38000 Grenoble
Informations complémentaires de l'avis
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
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