Fourniture et installation d'un équipement de dépôt ALD matériaux lithiés en 200mm
Avis d'attribution
CEA Grenoble
2026-01-13
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt ALD. L’équipement est destiné à produire des couches de haute qualité d'électrolyte et d'électrode métallique à base de lithium sur des substrats de 200 mm sur des structures pouvant avoir un rapport d’aspect élevé (jusqu'à 200:1)
Le marché comporte les options* avec chiffrage obligatoire suivantes :
- Option n°1 : La fourniture et l’installation d’une seconde chambre ALD thermique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9)
- Option n°2 : La fourniture d’une microbalance à cristal de quartz conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10)
Le marché comporte les options* avec chiffrage facultatif suivantes :
- Option n°3 : La fourniture d’une station buffer conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9)
- Option n°4 : La fourniture d’un module d’alignement conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9)
- Option n°5 : La fourniture d’une colonne d’absorption recommandée pour les gaz d’échappement de la pompe conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10)
- Option n°6 : La fourniture d’un disque dur de rechange conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10)
- Option n°7 : La fourniture d’un jeu de réservoir de précurseurs de rechange conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10)
- Option n°8 : La fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.2.6 du cahier des charges (page 11)
- Option n°9 : La fourniture d’un transformateur électrique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 4.1.4 du cahier des charges (page 19)
- Option n°10 : La formation à la maintenance de premier niveau pour 4 personnes conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 9 du cahier des charges (page 31)
- Option n°11 : La formation à la maintenance avancée pour 2 personnes conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 9 du cahier des charges (page 31)
- Option n°12 : Deuxième année de garantie
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712100 - Machines et appareils microélectroniques
Autres informations
Localisation :
Grenoble
- Départements de publication :
- Identifiant interne : B24-05608-AT
Informations complémentaires de l'avis
Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’ appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables
Lots
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt ALD.
LOT-0001Fournitures
L’équipement est destiné à produire des couches de haute qualité d'électrolyte et d'électrode métallique à base de lithium sur des substrats de 200 mm sur des structures pouvant avoir un rapport d’aspect élevé (jusqu'à 200:1)
Le marché comporte les options* avec chiffrage obligatoire suivantes :
- Option n°1 : La fourniture et l’installation d’une seconde chambre ALD thermique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9)
- Option n°2 : La fourniture d’une microbalance à cristal de quartz conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10)
Le marché comporte les options* avec chiffrage facultatif suivantes :
- Option n°3 : La fourniture d’une station buffer conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9)
- Option n°4 : La fourniture d’un module d’alignement conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9)
- Option n°5 : La fourniture d’une colonne d’absorption recommandée pour les gaz d’échappement de la pompe conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10)
- Option n°6 : La fourniture d’un disque dur de rechange conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10)
- Option n°7 : La fourniture d’un jeu de réservoir de précurseurs de rechange conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10)
- Option n°8 : La fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.2.6 du cahier des charges (page 11)
- Option n°9 : La fourniture d’un transformateur électrique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 4.1.4 du cahier des charges (page 19)
- Option n°10 : La formation à la maintenance de premier niveau pour 4 personnes conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 9 du cahier des charges (page 31)
- Option n°11 : La formation à la maintenance avancée pour 2 personnes conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 9 du cahier des charges (page 31)
- Option n°12 : Deuxième année de garantie
Identifiant interneB24-05608-AT
Durée prévue1 an
Localisation
Grenoble
Informations complémentaires de l'avis
Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’ appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables
Résultats
Montant de l'attribution
1 €attribué à Beneq Oy
Offres reçues2
Acheteurs
Fournisseurs
Beneq Oy
ORG-0003Identifiant: 3229720-8
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