Fourniture d’un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant
Appel d'offres
CEA Grenoble
2025-12-24
FournituresLogiciel
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant, capable de détecter des défauts d’une taille minimale de 150 nm pour de l’inspection microscopique, et des tailles de défauts supérieurs à 10µm pour de l’inspection macroscopique. Deux modules optionnels sont ciblés: un outil d’inspection face arrière et un outil avancé de revue permettant une imagerie haute résolution.
Le marché envisagé comprend deux options à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif :
- Options avec chiffrage obligatoire :
. Option 1 (fourniture optionnelle) : Module d’inspection face arrière
. Option 2 (fourniture optionnelle) : Module de revue de défaut haute résolution
- Options avec chiffrage facultative :
. Option 3 (fourniture optionnelle) : Transformateur électrique
. Option 4 (prestation optionnelle) : Formation maintenance niveau 1
. Option 5 (prestation optionnelle) : Formation maintenance avancée
. Option 6 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an supplémentaire
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712100 - Machines et appareils microélectroniques
Dates importantes
- Date de clôture : 28/01/2026 13:00 (cloturé)
Autres informations
Localisation :
Grenoble
- Départements de publication :
- Identifiant interne : B25-03805-CMF
Informations complémentaires de l'avis
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat - la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.2143-3 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr.
Il est interdit de cumuler les candidatures : - en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; - en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Lots
Fourniture d’un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant
LOT-0001Fournitures
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant, capable de détecter des défauts d’une taille minimale de 150 nm pour de l’inspection microscopique, et des tailles de défauts supérieurs à 10µm pour de l’inspection macroscopique. Deux modules optionnels sont ciblés: un outil d’inspection face arrière et un outil avancé de revue permettant une imagerie haute résolution.
Le marché envisagé comprend deux options à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif :
- Options avec chiffrage obligatoire :
. Option 1 (fourniture optionnelle) : Module d’inspection face arrière
. Option 2 (fourniture optionnelle) : Module de revue de défaut haute résolution
- Options avec chiffrage facultative :
. Option 3 (fourniture optionnelle) : Transformateur électrique
. Option 4 (prestation optionnelle) : Formation maintenance niveau 1
. Option 5 (prestation optionnelle) : Formation maintenance avancée
. Option 6 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an supplémentaire
Identifiant interneB25-03805-CMF
Durée prévue1 an
Informations complémentaires de l'avis
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
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