Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Appel d'offres
CEA Grenoble
2025-12-02
FournituresMaintenance
Une attribution a été publiée.
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm.
La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette.
Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos.
L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
L'option obligatoire:
- Option n°1: Formation maintenance niveau 1
Les options facultatives :
-Option n°2: Chiller
-Option n°3: Pompe
-Option n°4: Transformateur électrique
-Option n°5: Formation maintenance avancée
-Option n°6: Extension de garantie 1 an supplémentaire
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712100 - Machines et appareils microélectroniques
Dates importantes
- Date de clôture : 05/01/2026 11:00 (cloturé)
Autres informations
Localisation :
Grenoble
- Départements de publication :
- Identifiant interne : B25-04834-LR
Informations complémentaires de l'avis
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat - la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.2143-3 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr.
Il est interdit de cumuler les candidatures : - en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; - en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Lots
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm.
LOT-0001Fournitures
La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette.
Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos.
L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
L'option à chiffrage obligatoire:
-Option n°1: Formation maintenance niveau 1
Les options à chiffrage facultatif :
-Option n°2 : Chiller
-Option n°3 : Pompe
-Option n°4 : Transformateur électrique
-Option n°5 : Formation Maintenance Avancée
-Option n°6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire
Identifiant interneB25-04834-LR
Durée prévue1 an
Informations complémentaires de l'avis
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
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