Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Appel d'offres
CEA/GRENOBLE
2025-10-10
Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche.
L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé.
Le marché envisagé comprend les options suivantes :
- Options avec chiffrage obligatoire :
Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP
- Options avec chiffrage facultatif :
Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask
Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques
Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau
Option 5 : Formation à la Maintenance avancée
Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur
Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance
Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712100 - Machines et appareils microélectroniques
Dates importantes
- Date de clôture : 10/11/2025 13:00 (cloturé)
Autres informations
Localisation :
Grenoble
- Départements de publication : Isère (38)
- Identifiant interne : PN-B25-03483-ST
Informations complémentaires de l'avis
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr .
Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : PN-B25-03483-ST
Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr.
Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique»
2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr
3.Compléter le formulaire et valider.
Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements
Lots
Fourniture d’un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
LOT-0001Fournitures
Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche.
L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé.
Le marché envisagé comprend les options suivantes :
- Options avec chiffrage obligatoire :
Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP
- Options avec chiffrage facultatif :
Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask
Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques
Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau
Option 5 : Formation à la Maintenance avancée
Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur
Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance
Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Durée prévue1 an
Localisation
38000 Grenoble
Informations complémentaires de l'avis
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
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