Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Avis d'attribution
CEA Grenoble
2025-07-29
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés.
L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et une nouvelle génération de matériaux.
Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà.
Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché :
• Options* avec chiffrage obligatoire :
o Option n°1 : Capacité de purge azote des Foups (page 16 du cahier des charges)
o Option n°2 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes
o Option n°3 : Formation maintenance avancée pour deux personnes
• Options* avec chiffrage facultatif :
o Option n°4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
o Option n°5 : Transformateur électrique
o Option n°6 : Deuxième année de garantie
o Option n°7 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712100 - Machines et appareils microélectroniques
Autres informations
Localisation :
38054 Grenoble
- Départements de publication : Isère (38)
- Identifiant interne : B24-01773-AT
Informations complémentaires de l'avis
« Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables ».
Lots
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés.
LOT-0001Fournitures
L’équipement vise des applications sans contamination métallique pour être utilisé en début de chaine de fabrication des puces. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont l’oxyde de silicium, le nitrure et une nouvelle génération de matériaux.
Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà.
Les options suivantes* sont susceptibles d’être affermies dès la notification du marché :
• Options* avec chiffrage obligatoire :
o Option n°1 : Capacité de purge azote des Foups (page 16 du cahier des charges)
o Option n°2 : Formation maintenance niveau 1 pour deux personnes
o Option n°3 : Formation maintenance avancée pour deux personnes
• Options* avec chiffrage facultatif :
o Option n°4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
o Option n°5 : Transformateur électrique
o Option n°6 : Deuxième année de garantie
o Option n°7 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant interneB24-01773-AT
Durée prévue1 an
Localisation
CEA Grenoble / 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble
Informations complémentaires de l'avis
La durée de 12 mois est une durée donnée à titre indicatif.
Résultats
Montant de l'attribution
1 €attribué à APPLIED MATERIALS SOUTH EAST ASIA PTE LTD
Offres reçues1
Acheteurs
Fournisseurs
APPLIED MATERIALS SOUTH EAST ASIA PTE LTD
ORG-0003SIRET: 38512486200033
Adresse8 Upper Changi Road North, 506906, Singapour
Lots attribués
LOT-00011 €
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