FOURNITURE D’UNE MACHINE NEUVE DE LITHOGRAPHIE LASER AVANCEE AVEC SYSTEME DE CHARGEMENT AUTOMATIQUE POUR LE COMPTE DU LAAS-CNRS

La présente consultation a pour objet la fourniture, la livraison, l’installation, la mise en service, la formation et la garantie d’une machine neuve de lithographie laser avancée avec système de chargement automatique pour le compte du LAAS-CNRS. Le projet s'inscrit au sein du projet d’investissement des plateformes technologiques dans le cadre du programme RTB (Recherche technologique de Base). L’accord-cadre est mono-attributaire (conclus avec un seul opérateur économique). L’accord-cadre est conclu avec un montant minimum (en quantité) et avec un montant maximum (en quantité). Le pouvoir adjudicateur s’engage à commander a minima (dit partie minimale de l’accord-cadre) : le bon de commande Fourniture, livraison, installation et mise en service d’une machine neuve de lithographie laser avancée. Le maximum en quantité sur l'accord-cadre est : 1X Fourniture, livraison, installation et mise en service d’une machine neuve de lithographie laser avancée, 1 X une tête d'écriture, 1X Fourniture d’une cassette de chargement pour photo-masques de taille 4’’ , 2XFourniture d’une cassette de chargement pour photo-masques de taille 5’’, 1XFourniture d’une cassette de chargement pour photo-masques de taille 7’’, 2XFourniture d’une cassette de chargement pour substrats de diamètre 100 mm, 1X Fourniture d’une cassette de chargement pour substrats de diamètre 150 mm, 3X Extension de garantie de 12 mois fermes.