Fourniture d'un équipement de recuit laser microseconde en 200 et 300mm
Appel d'offres
CEA Grenoble
2025-06-25
FournituresEquipements spécialisés
Une attribution a été publiée.
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de recuit laser microseconde afin de relever les défis technologiques à venir.
L'équipement devra comporter un module de traitement avec surveillance in-situ des transitions thermiques, ainsi qu'une interface automatique pour wafers de 200 mm et 300 mm. Le recuit devra pouvoir se faire sous atmosphères contrôlées (azote, argon, oxygène, hydrazine).
Le marché comporte :
• Des options avec chiffrage obligatoire :
o Option n°1 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
o Option n°2 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement
• Des options avec chiffrage facultatif :
o Option n°3 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges
o Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges
o Option n°5 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Informations générales
- Procédure : Procédure avec négociation
- Classification CPV : 31712100 - Machines et appareils microélectroniques
Dates importantes
- Date de clôture : 31/07/2025 16:00 (cloturé)
Autres informations
Localisation :
Grenoble
- Départements de publication :
- Identifiant interne : B25-02005-AT
Lots
Fourniture d'un équipement de recuit laser microseconde en 200 et 300mm
LOT-0001Fournitures
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de recuit laser microseconde afin de relever les défis technologiques à venir.
L'équipement devra comporter un module de traitement avec surveillance in-situ des transitions thermiques, ainsi qu'une interface automatique pour wafers de 200 mm et 300 mm. Le recuit devra pouvoir se faire sous atmosphères contrôlées (azote, argon, oxygène, hydrazine).
Le marché comporte :
• Des options avec chiffrage obligatoire :
o Option n°1 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
o Option n°2 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement
• Des options avec chiffrage facultatif :
o Option n°3 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges
o Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges
o Option n°5 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Identifiant interneB25-02005-AT
Durée prévue1 an
Localisation
Grenoble
Informations complémentaires de l'avis
Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’ appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables
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