Fourniture d’un module de métrologie intégrée CMP 200 mm multi purpose

Appel d'offres

CEA Grenoble

2025-05-19

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un système de mesure intégré pour son outil de polissage mécanique chimique EBARA FREX200M2, un outil de polissage chimico-mécanique. Cet équipement doit traiter des plaquettes de 200 mm et doit être entièrement intégré et connecté à l'outil CMP. Cet équipement sera utilisé comme système de mesure pour contrôler le processus CPM. Il doit être intégré et connecté au nouvel outil CEA-LETI de 200 mm. L'outil de métrologie doit pouvoir d'effectuer des mesures automatiques sur des substrats en silicium ou en verre. Il doit manipuler et mesurer des plaquettes de silicium de 200 mm, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium, et mesurer des plaquettes avec ou sans motifs, des plaquettes avec ou sans patrons. Ce marché comporte : Un équipement de base Une option à chiffrage obligatoire relative a l’extension de garantie d’une année supplémentaire au-delà de la garantie légale d’un an. Une (des) option(s) facultatives : Option 1 : Formation maintenance niveau 1 Option 2 : Formation maintenance avancée

Informations générales

Dates importantes

  • Date de clôture : 18/06/2025 10:00 (cloturé)

Autres informations

  • Départements de publication : Isère (38)
  • Identifiant interne : PN-B25-01923-NJ
Informations complémentaires de l'avis
Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat - la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.2143-3 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; - en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.

Lots

Fourniture d’un module de métrologie intégrée CMP 200mm multi purpose

LOT-0001
Fournitures
Le présent marché comporte : Le présent marché comporte également l'option obligatoire suivante : Fourniture d’une extension de garantie d’une année supplémentaire au-delà de la garantie légale d’un an Le présent marché comporte les options facultatives suivantes : Option 1 : Formation maintenance niveau 1 Option 2 : Formation maintenance avancée
Identifiant interneB25-01923-NJ
Durée prévue1 an 3 mois
Localisation
17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9
Informations complémentaires de l'avis
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr

Acheteurs

CEA Grenoble

SIRET: 77568501900298

Adresse17 rue des Martyrs, 38054, Grenoble

Documents

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