Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)
Avis d'attribution
CNRS-Délégation Centre-Est
2025-04-22
L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.
Informations générales
- Procédure : Appel d'offres ouvert
- Classification CPV : 42942000 - Fours et accessoires
Autres informations
Localisation :
FEMTO-ST - UMR CNRS 6174, Département Temps-Fréquence - ENSMM, 25030 Besançon
- Départements de publication : Doubs (25)
- Identifiant interne : AOO 25.06.004
Informations complémentaires de l'avis
La présentation d'une ou plusieurs variante(s) à l'initiative du candidat est autorisée au titre de la présente procédure.
Le soumissionnaire aura la possibilité de proposer, au titre de solution variante, un équipement de démonstration/d'occasion.
La présentation de l’offre de base n’est pas imposée à l’appui de l’offre variante.
Lots
Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)
LOT-0001Fournitures
L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.
Identifiant interneAOO 25.06.004
Durée prévue1 an
Localisation
FEMTO - ST - UMR CNRS 6174, Département Temps-Fréquence - ENSMM, 25030 Besançon
Informations complémentaires de l'avis
Condition de remise des plis : les documents de la consultation sont téléchargeables par voie dématérialisée sur le profil acheteur : https//www.marches-publics.gouv.fr. Les candidatures et les offres sont transmises par voie dématérialisée.
Une copie de sauvegarde, placée dans un pli scellé comportant la mention lisible "Copie de sauvegarde - NE PAS OUVRIR - AOO 25.06.004 - Nom de la procédure" pourra être adressée à l'adresse physique suivante "17, rue Notre Dame des Pauvres - BP 10075 - 54519 Vandœuvre-lès-Nancy".
Pour plus d'information, merci de consulter le Règlement de Consultation de la procédure.
Le CNRS se réserve la possibilité, conformément aux dispositions de l’article R.2161-4 du Code de la commande publique, d’examiner les offres avant les candidatures.
Résultats
Montant de l'attribution
126.25 k€attribué à ANNEALSYS
Offres reçues1
Acheteurs
CNRS-Délégation Centre-Est
ORG-0001SIREN: 180089013
Adresse17, rue Notre Dame des Pauvres, 54519, Vandoeuvre-lès-Nancy
Site Webwww.dr6.cnrs.fr/centre-est
Fournisseurs
ANNEALSYS
ORG-0003SIRET: 45358840200025
Adresse139 rue des Walkyries, 34000, Nancy
Lots attribués
LOT-0001126.25 k€
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