Fourniture d’un équipement de type « wet bench »

Le CEA-Leti a fait l’acquisition d’un équipement de type wet bench pour sa salle-blanche. Il s'agit d'un lot unique qui ne peut pas faire l’objet d’un allotissement. L’équipement vise des nettoyages FEOL pour une large gamme d’applications dans les semi-conducteurs. Cet équipement devra réaliser des séquences de nettoyages chimiques standards basées sur du SC1, SC2, acide fluorhydrique (HF), ozone et du séchage à base d’isopropanol (IPA). Les dilutions et mélanges chimiques doivent pourvoir être flexibles et préparés d’une manière automatisée. L’équipement doit inclure un cabinet chimique chauffé dédié aux acides et bases, où le remplissage est manuel. Cet équipement doit pouvoir traiter une large gammes de plaques : des susbtrats de différents diamètres, épaisseurs et matériaux.