Achat, mise au point et maintien fonctionnel d'un spectromètre XPS 300mm entièrement intégré en salle blanche avec capacité de transfert quasi in situ

L'équipement considéré est un Spectromètre XPS (Xray Photoelectron Spectroscopy) pour substrat 300mm et 200mm, complet, compact et intégré, tant au niveau matériel que logiciel. Un logiciel dédié pilote l'ensemble des fonctions du spectromètre : allumage, paramétrage et extinction des différentes sources, les vannes, le pompage, les acquisitions, le traitement des données, etc … Cet équipement constitue un des éléments d'une plateforme modulaire de caractérisation dont le CNRS ( laboratoire LTM : Laboratoire des Technologies de la Microelectronique) fait l'acquisition.