ACQUISITION D'UN EQUIPEMENT DE GRAVURE DE MATERIAUX EN COUCHE MINCE

Avis d'attribution

Université de technologie de Troyes

2024-12-22

FournituresMatériel de précision525 k€ (attribué)

Informations générales

Autres informations

Localisation :
UTT, Bâtiment X, 12 rue Marie Curie 10000 TROYES (ou accès par la rue Fernand Sastre), 10000 Troyes
  • Départements de publication : Aube (10)
  • Identifiant interne : 2024-01

Lots

Cet équipement devra être capable de graver différents matériaux de la gamme des semi-conducteurs en couche mince et profonde avec un procédé impliquant une chimie fluorée.

LOT-0001
Fournitures

Il devra également permettre le dépôt d'une couche passivante in-situ afin de pouvoir graver à des profondeurs microniques similaire au procédé Bosch

Identifiant interne2024-01
Résultats
Montant de l'attribution
525 k€attribué à SENTECH INSTRUMENTS GMBH
Offres reçues2 de 525 k€ à 554.90 k€

Acheteurs

Université de technologie de Troyes

ORG-0001

SIRET: 19101060200032

Adresse12, rue Marie Curie CS 42060, 10004, Troyes

Fournisseurs

SENTECH INSTRUMENTS GMBH

ORG-0003

Identifiant: HRB 353

Adresse12489, BERLIN
Lots attribués
LOT-0001525 k€

Documents

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